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洁净室和高效过滤器的密封是确保洁净室洁净度的关键因素之一,常用的密封方法有( )。

多选题
洁净室和高效过滤器的密封是确保洁净室洁净度的关键因素之一,常用的密封方法有(  )。

A固体密封垫(如橡胶板)

B液体密封胶

C液槽刀口密封

D负压泄漏密封

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